半导体设备ETF（561980）早盘放量溢价

3月最后一个交易日，两市开盘震荡，三大股指悉数飘绿，盘面上AI产业链跌幅居前，半导体表现相对较强。

聚焦上游设备、材料的中证半导指数小幅下跌0.36%，成份股中至纯科技涨逾5%、中科飞测、江丰电子、安集科技涨逾2%，华峰测控、盛美上海、沪硅产业多股跟涨。

半导体设备ETF（561980）早盘围绕水位线窄幅震荡，截至发文跌幅0.39%，成交额放大至5166万元。分时图上持续溢价交易，指向资金面或较为活跃。上交所数据显示，上周五该ETF获1042万元资金净申购买入。

【本土设备龙头密集推出新品】

消息面上，SEMICON CHINA展会影响仍在发酵。本次上海国际半导体展会，国产企业大放异彩，密集推出新产品。其中绝大多数上市公司均为半导体设备ETF（561980）前十权重股。

其中北方华创带来多款设备方案，并重磅发布两款新品，首款离子注入机Sirius MC 313、首款12 英寸电镀设备（ECP）——Ausip T830，半导体设备版图进一步拓宽。

盛美上海晶圆级与面板级封装设备亮相，部分新产品包括Tahoe-SPM 清洗设备、单片高温硫酸清洗设备、面板级先进封装电镀设备等。

中微公司发布12 英寸边缘刻蚀设备Primo Halona，关键工艺全面覆盖再进一步，同时推出多款LPCVD 薄膜设备和ALD 薄膜设备新产品，并获得了重复性订单，以及新开发硅和锗硅外延EPI 设备等多款新产品，也将在近期投入市场验证。

此外，新凯来首次公开亮相，其从薄膜沉积设备到光学检测系统，展台几乎覆盖了芯片制造的关键环节，为行业带来了新的竞争格局和发展机遇。

【机构看好半导体设备逐渐从“替代”走向“引领”】

华福证券认为，国产设备厂商正通过技术差异化和产品平台化战略，重构全球半导体市场话语权。此外，设备蓬勃推出直接拉动上游零部件供应链进入黄金周期。该机构认为，本届展会亮点纷呈，其展现了我国半导体产业正通过自主创新打破“卡脖子”困境，并逐渐从“替代”走向“引领”。

招商证券表示，新凯来首次亮相，展示扩散、刻蚀、薄膜、量检测四大类产品，标志国产设备实力进一步提升；此外，国产设备新品不断推出，平台化布局日益完善，细分工艺创新加速。建议关注半导体设备新品发布及平台化布局进展，以及半导体零部件国产化进程，维持行业投资评级为“推荐”。

中信证券研报分析指出，国内半导体产业链正在逐渐补齐 国产替代并购整合有望加速。2025年SEMICON大会火爆程度再创新高，行业持续迸发新活力，国产半导体设备和材料头部厂商持续高歌猛进，各类新公司、新技术、新产品层出不穷，为行业发展注入新活力，国内半导体产业链正在逐渐补齐。国产替代并购整合有望加速。同时也关注到，国内市场参与者增多，各家厂商加速平台化布局，行业逐渐进入“战国时代”，未来并购整合是大势所趋。